優れた拡張 性で幅広い解 析ニーズに対応
形 状に加え材質の違いも可視化 反射電子検出器 オプション
高感度・高コントラストで
形状再現が忠実な
ロビンソン型を採用
試 料の 形 状に加え、材質の 違いも可視
化する反射電子検出器の拡張も可能で
す。高感度・高コントラストで形状の再現
に 定 評 の あ るロビ ン ソ ン 型 の 採 用 に
より、正確な解析をサポートします。
導電スポンジ
鉛フリーはんだ剥離部断面
含水試料の観察もOK 低真空観察機能 オプション
デジタル制御で
真空度は3∼260Pa可変
低真空機能により、含水試料の水分蒸発
を抑えながら観察することが 可能です。
デ ジタル 制 御 に より真 空 度 を3 ∼
260Paで可変できますので、目的に応じ
た真空 度で最適な観察像を得ることが
可能です。
植物の葉
花粉
17
優 れ た 拡 張 性 で 幅 広 い 解 析 ニーズに 対 応
反射電子検出器 ［オプション］
形 状に加え材質の違いも可視化
高感度
・高コントラス トで
形状 再 現が忠 実なロビンソン型を採用
試料の形状に加え、材質の違いも可視化する反射電子
検出器の拡張も可能です。高感度 高コン
・ トラストで形状
の再現に定評のあるロビンソン型の採用により、正確な
解析をサポー します。
ト
鉛フリーはんだ剥離部断面
導電スポンジ
低 真空観察機能 ［オプション］
含水試料の観察もOK
デジタル制御で
真空度は 3∼ 260 Pa 可 変
低真空機能により、含水試料の水分蒸発を抑えながら
観察することが可能です。デジタル制御により真空度を
3∼260 Paで可変できますので、目的に応じた真空度で
最適な観察像を得ることが可能です。
花粉
植 物の葉
20
16
日本語 英 語 中国語
現地化 Localization
現地生産 Local production
け
︱
現地調達率 Local purchase rate
こ
原点復帰 Return to origin
検討 Discussion
顕微鏡 Microscope
顕微鏡写真 Microphotograph
現品 Spot goods
研磨 Polishing
研磨剤 Abrasives
研磨盤 Polishing machine
原理 Operating principle
５S 整理・整頓・清潔・掃除・躾） Sort/Set/Shine/Standardize/Sustain
（コイニング加工 Coining process
高温加工 High temprature process
硬化 Hardening
公害 Public nuisance
高解像度 High-resolution
光学ガラス Opical glass
光学顕微鏡 Micro scope
硬化剤 Hardener
高感度 High sensitivity
交換部品 Replacement parts
工業所有権 Industrial property
工具 Tool
航空機 Aircraft
工具顕微鏡 Toolmaker's microscope
工具鋼 Tool steel
工具自動交換システム Auto tool changer
工具寿命 Tool life
解 析 業 務・結 果に付 加 価 値をつける
最 新テクノロジー
可視光限界波長408ｎｍバイオレッ レーザ採用
ト 受光素子に超高感度 ォ
“フ トマルチプライヤ（PMT） 採用
”
一般的に、
ＸＹ方向の分解能は、以下の式で求められます。 受 光 素 子には、 素 子の中で、
光 極めて高 感 度・高 速 応 答のP M Tを
採 用 。 来 の C C Dレベルではとらえられない 微 弱な光でも確 実に
従
分 解能＝定数×λ／N.A.（λ 光源の波長 N.A. 対物レンズの関係）
： ：
とらえられます 。また、
フレームメモリは14bit 16384データ） ワイ
（ と、 ド
つま 光源の波長が短ければ短いほ
り、 ど解像度は高く り 。
な ます VK-9500では
ダイナミ ク
ッ レンジを実現。急峻な角度を持った対象物や明暗差のある
短波長レーザ“バイ レ ト
オ ッ レーザ408nm”
を採用しているため、
通常の白色
対象物でも正確に測定できます。
光源を用いた光学顕微鏡と比べはるかに高解像度の画像を得ることが
で ます 出荷時には定量評価を行ない、
き。 常に安定した品質を提供しています。
■ 従来レーザ顕との性能比較
応答性
受光感度
↑ ↑
高 時
感 間
度
０１
．３ ０１
．４ ０１
．５ ０１
．６ ０１ （μ
．７ ｍ）
VK-9500 従来レーザ顕微鏡 VK-9500 従来レーザ顕微鏡
超高感度PMT CCD 超高感度PMT CCD
（光電子増倍管） （電荷結合素子） （光電子増倍管） （電荷結合素子）
VK-9500では、受光素子（光センサ）の中で極めて高感度 高速応答である超高感度PMTを採用
・ 解 像度パターンの反射光量を定量評価
“ 高精度リニアスケール ”標準搭載 デジタルレーザ顕微鏡史上最速“高速スキャン42Hz”
高さ計測データについては、国家標準につながる レーサビリティ
ト 体系に デジタルレーザ顕微鏡史上最速の42Hzを実現し、 アルタ ムに近い状態
リ イ
基づいた、信頼性の高い計測が可能です 。測定機器として安心して で観察 解析が可能にな ます。 らに、
・ り さ ダブルスキャ パー
ン、 トスキャンなど、
お使いいただけます。 必要なデータ、対象物に応じて、 り短時間で観察 解析が行なえます。
よ
・
X-Y
Z
スキ ンモー
ャ ド スキャンレー （Hz）
ト 100μｍ高さ測定時間（秒）
国家標準 国家標準
独立行政法人 産業技術総合研究所 米国国立標準技術研究所（NIST）
ノーマルスキ ン
ャ ９ １.
１３
JCSS認定機関 ダブルスキ ン
ャ １６ ６４
.
パートスキ ン
ャ ３２ ３２
.
段 差計測器 座標測定器
スキ プスキ ン
ッ ャ ２５ ４０
.
キャリブレーションブロック キャリブレーションチャート
高速スキ ン
ャ ４２ ２３
.
超深度カラー3D形状測定顕微鏡（VK-9500シリーズ） ※測定時間は、白黒超深度モー
・ ッチ μ
ド ピ １ ｍでの数値となります。
V iolet Laser
Color 3D Prof ile Microscope
12
高速現象を観察したい。そんなニーズに応えるべく、
マイクロスコープに高速撮影機能を搭載。
最大24000コマ/秒の高速撮影能力で、研究開発の現場から、
製造ラインまで、幅広くご使用いただけます。
より高速で観察したいときに必要になる高感度なモノクロ
一つのコントローラで目的に合わせて カメラと、 合 いも含めて観 察したいときのカラーカメラ。
色
カラー＆モノクロカメラ両対応 VW-6000なら、性質の異なるこの二つのカメラの両方に対応。
コントローラ1台だけで使い分けることができます。
■ モノクロカメラ像（高感度撮影）
■ カラーカメラ像
色合いまで含めた観察に。 より高速での観察に、高感度で撮影。
カラーカメラユニット モノクロカメラユニット
VW-100C VW-100M
連続で動き続けている対象物の経時変化を観察可能。例えば、
長 時 間 に 渡 る 変 化 が 分 かりや す い 一定の高速動作をしている生産ラインを、1日1回同時刻に
動画タイムラプス撮影機能 10秒撮りためておき、複数動画を比較表示することで、生産
立ち上がりから終了までの変化を分かりやすく観察できます。
初日 1日経過 2日経過
高速撮影とスロー再生を短時間で自動
リア ルタイム に 高 速 観 察
世界初
的に繰り返すことにより、リアルタイム
クイックプレビュー機能 での高速現象の観察を実現しました。
瞬間撮影 瞬間撮影
実際の動画
指定したフレームレートで
瞬間的に撮影した映像を、
再生
秒5コマで再生します。
ゆっくり再 生 ゆっくり再 生
5
高速現象を観察したい。そんなニーズに応えるべく、
マイクロスコープに高速撮影機能を搭載。
最大24000コマ/秒の高速撮影能力で、研究開発の現場から、
製造ラインまで、幅広くご使用いただけます。
より高速で観察したいときに必要になる高感度なモノクロ
一つのコントローラで目的に合わせて カメラと、 合 いも含めて観 察したいときのカラーカメラ。
色
カラー＆モノクロカメラ両対応 VW-6000なら、性質の異なるこの二つのカメラの両方に対応。
コントローラ1台だけで使い分けることができます。
■ モノクロカメラ像（高感度撮影）
■ カラーカメラ像
色合いまで含めた観察に。 より高速での観察に、高感度で撮影。
カラーカメラユニット モノクロカメラユニット
VW-100C VW-100M
連続で動き続けている対象物の経時変化を観察可能。例えば、
長 時 間 に 渡 る 変 化 が 分 かりや す い 一定の高速動作をしている生産ラインを、1日1回同時刻に
動画タイムラプス撮影機能 10秒撮りためておき、複数動画を比較表示することで、生産
立ち上がりから終了までの変化を分かりやすく観察できます。
初日 1日経過 2日経過
高速撮影とスロー再生を短時間で自動
リア ルタイム に 高 速 観 察
世界初
的に繰り返すことにより、リアルタイム
クイックプレビュー機能 での高速現象の観察を実現しました。
瞬間撮影 瞬間撮影
実際の動画
指定したフレームレートで
瞬間的に撮影した映像を、
再生
秒5コマで再生します。
ゆっくり再 生 ゆっくり再 生
5
高速現象を観察したい。そんなニーズに応えるべく、
マイクロスコープに高速撮影機能を搭載。
最大24000コマ/秒の高速撮影能力で、研究開発の現場から、
製造ラインまで、幅広くご使用いただけます。
より高速で観察したいときに必要になる高感度なモノクロ
一つのコントローラで目的に合わせて カメラと、 合 いも含めて観 察したいときのカラーカメラ。
色
カラー＆モノクロカメラ両対応 VW-6000なら、性質の異なるこの二つのカメラの両方に対応。
コントローラ1台だけで使い分けることができます。
■ モノクロカメラ像（高感度撮影）
■ カラーカメラ像
色合いまで含めた観察に。 より高速での観察に、高感度で撮影。
カラーカメラユニット モノクロカメラユニット
VW-100C VW-100M
連続で動き続けている対象物の経時変化を観察可能。例えば、
長 時 間 に 渡 る 変 化 が 分 かりや す い 一定の高速動作をしている生産ラインを、1日1回同時刻に
動画タイムラプス撮影機能 10秒撮りためておき、複数動画を比較表示することで、生産
立ち上がりから終了までの変化を分かりやすく観察できます。
初日 1日経過 2日経過
高速撮影とスロー再生を短時間で自動
リア ルタイム に 高 速 観 察
世界初
的に繰り返すことにより、リアルタイム
クイックプレビュー機能 での高速現象の観察を実現しました。
瞬間撮影 瞬間撮影
実際の動画
指定したフレームレートで
瞬間的に撮影した映像を、
再生
秒5コマで再生します。
ゆっくり再 生 ゆっくり再 生
5
2 シェア せん 断 ）
（ 型
錘
せん断力で圧電 効果を起こす構造になります。 理
原
上、機械的強 度はコンプレッション型に劣りますが、
圧電素子
焦電気効果による影響レベルが小さいことが特長で
す。低周波振動や温度変化の激しい場所での計測に ケース
向いています。
シェア型の加速度センサの構造
他にはどのような加速度センサがある？
加速度センサを大別すると以下の表にように4つあります。
圧電式 歪ゲージ式 サーボ式 半導体式
感度 高感度 低感度 最も高感度 高感度
周波数範囲 数Hz∼数10kHz DC∼数kHz DC∼数10Hz DC∼1kHz
耐久性 高い 低い 低い 高い
中でも特に圧電型の加速度センサは小型、広帯域、高感度と優れた特長を多く持ちますので、
最も一般的とされています。
加速度計測ユニット
世界最小
マルチ入力データ収集システム NR- 600／500シリーズ NR-CA04
世界最小サイズ
従来比 体積約1/6 重さ約1/8
電荷 電圧 両方に対応
・ 同一ユニットにてどちらの加速度センサにも対応
フ ルタ 演算機能
ィ・
ハイパス/ローパス/アンチエイリアシング
速度/変位/実効値演算機能も搭載
FAX06-6379-1130
専用受付
NR-CA04に関するお問い合わせはこちらから
〒 ー
勤務先所在地
マルチ入力データ収集システムの
勤務先 全てが分かるテクニカルカタログを
差し上げます。
ふり が な
所属部署
役職
お名前
製造品目
電話
E-mail
■ NR リーズについてご希望の に 印をご記入 さい
シ くだ 全44ページの
大ボリューム
詳細カタログ希望 詳細説明希望 テスト機貸し出し希望 見積り希望
当社は個人情報保護に関する法令などを遵守し、
お客様の住所 部署 氏名等の個人情報は、
・ ・ 生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
本社 研究所／APSULT事業部
・ 0120 - 66 -3000
フリーダイヤル
この商品に関する
〒 533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 1131 Fax 0 6 - 6379 - 1130 お問い合わせは
AP7-0108
www.keyence.co.jp 仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
Copyright ⃝ 2 009 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
C
K2237F-0049-1
2 シェア せん 断 ）
（ 型
錘
せん断力で圧電 効果を起こす構造になります。 理
原
上、機械的強 度はコンプレッション型に劣りますが、
圧電素子
焦電気効果による影響レベルが小さいことが特長で
す。低周波振動や温度変化の激しい場所での計測に ケース
向いています。
シェア型の加速度センサの構造
他にはどのような加速度センサがある？
加速度センサを大別すると以下の表にように4つあります。
圧電式 歪ゲージ式 サーボ式 半導体式
感度 高感度 低感度 最も高感度 高感度
周波数範囲 数Hz∼数10kHz DC∼数kHz DC∼数10Hz DC∼1kHz
耐久性 高い 低い 低い 高い
中でも特に圧電型の加速度センサは小型、広帯域、高感度と優れた特長を多く持ちますので、
最も一般的とされています。
加速度計測ユニット
世界最小
マルチ入力データ収集システム NR- 600／500シリーズ NR-CA04
世界最小サイズ
従来比 体積約1/6 重さ約1/8
電荷 電圧 両方に対応
・ 同一ユニットにてどちらの加速度センサにも対応
フ ルタ 演算機能
ィ・
ハイパス/ローパス/アンチエイリアシング
速度/変位/実効値演算機能も搭載
FAX06-6379-1130
専用受付
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〒 ー
勤務先所在地
マルチ入力データ収集システムの
勤務先 全てが分かるテクニカルカタログを
差し上げます。
ふり が な
所属部署
役職
お名前
製造品目
電話
E-mail
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シ くだ 全44ページの
大ボリューム
詳細カタログ希望 詳細説明希望 テスト機貸し出し希望 見積り希望
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お客様の住所 部署 氏名等の個人情報は、
・ ・ 生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
本社 研究所／APSULT事業部
・ 0120 - 66 -3000
フリーダイヤル
この商品に関する
〒 533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 1131 Fax 0 6 - 6379 - 1130 お問い合わせは
AP7-0108
www.keyence.co.jp 仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
Copyright ⃝ 2 009 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
C
K2237F-0049-1
1-2 デルタカットテクノロジーを新開発！
■ 従 来品との比較（従来比10倍の高感度を達成）
デルタカットあり デルタカットなし
ＣＤ
Ｃ ＣＤ
Ｃ
焦点がずれる
焦点がシャープ
高精度
エルノスターレンズ
表面反射により減衰
フ ルタガラス
ィ
フ ルタガラス
ィ と光軸の角度により屈折
※LK-G155/G405/G505 リーズ）
（シ
受光部にある、 ィ
フ ルターガラス表面での反射を低減し、長距離からの反射光を確実に受光できるように筐体設計を新開発しました。
1-3 Li- CCD
（＝Linear ized CCD）を新開発！
■ 通常CCDとの出力比較
画素中央に受光 画素境界付近に受光 隣の画素に受光
反射光
CCD
通常CCD
の出力 反射光の画素内の位置を検出することができないため、画素境界部で段
階的な変化と り、
な 誤差が発生します。
Li-CCD
の出力 反射光の画素内位置に応じて、 隣接した画素の出力が変化することで、
リニアな特性をえることができます。
画素毎のデジタル出力特性をもつCCDは、画素の境界部で発生する段階的な出力による誤差が高精度化の壁となっていまし
た。そこで、反射光の画素内位置を検出することができるLi-CCDを新開発。従来比2倍の高精度化を実現しました。さらに、セ
ンサ専用設計を行うことで従来比25倍の高速化と10倍の高感度化を達成しました。
11
翻訳キーワード集
